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rainbow0912新虫 (初入文坛)
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有关于接触式曝光机和平行光曝光机的疑问?
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我是光刻小白,一直有个疑问:类似于做PCB的那种平行光曝光机和一般用于做MEMS的接触式光刻机有什么区别?都是汞灯紫外线平行通过掩膜版(菲林)进行曝光,那他们的本质差异是什么呀?望清楚的大神指点一下!![]() |
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