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rainbow0912

新虫 (初入文坛)

[求助] 有关于接触式曝光机和平行光曝光机的疑问?

我是光刻小白,一直有个疑问:类似于做PCB的那种平行光曝光机和一般用于做MEMS的接触式光刻机有什么区别?都是汞灯紫外线平行通过掩膜版(菲林)进行曝光,那他们的本质差异是什么呀?望清楚的大神指点一下!
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babyoflion

金虫 (著名写手)

4楼2021-07-20 12:49:17
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babyoflion

金虫 (著名写手)

2楼2021-07-19 23:19:31
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rainbow0912

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by babyoflion at 2021-07-19 23:19:31
分辨率

你好,谢谢您的回复,我知道他们的分辨率有差,但是不知道是哪里的差异导致分辨率不一样呢?您看解释下吗
3楼2021-07-20 08:59:32
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