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rainbow0912新虫 (初入文坛)
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有关于接触式曝光机和平行光曝光机的疑问？
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我是光刻小白，一直有个疑问：类似于做PCB的那种平行光曝光机和一般用于做MEMS的接触式光刻机有什么区别？都是汞灯紫外线平行通过掩膜版（菲林）进行曝光，那他们的本质差异是什么呀？望清楚的大神指点一下！ |
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