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以甲烷气源在铜/钽衬底表面CVD沉积碳薄膜
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希望利用12C同位素富集甲烷气源在抛光后的铜或钽衬表面沉积一层几微米厚碳层，石墨烯、纳米碳管或者普通的石墨层均可。 自备气体，请问哪里可以加工，对衬底表面有什么要求，耗气量是多少（同位素气体比较贵）？ |
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