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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 以甲烷气源在铜/钽衬底表面CVD沉积碳薄膜
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shenyp09

木虫 (小有名气)

[求助] 以甲烷气源在铜/钽衬底表面CVD沉积碳薄膜

希望利用12C同位素富集甲烷气源在抛光后的铜或钽衬表面沉积一层几微米厚碳层，石墨烯、纳米碳管或者普通的石墨层均可。

自备气体，请问哪里可以加工，对衬底表面有什么要求，耗气量是多少（同位素气体比较贵）？
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1楼 2021-07-05 15:45:08
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shenyp09

木虫 (小有名气)
顶
2楼2021-07-06 10:25:49
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peterTT

禁虫 (著名写手)
本帖内容被屏蔽
3楼2021-07-06 15:12:04
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shenyp09

木虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by peterTT at 2021-07-06 15:12:04
太远了，可以沉积碳层，没有同位素甲烷

我自备同位素甲烷，你那儿可以做吗，耗气量大概是什么水平？
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4楼2021-07-06 18:28:34
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