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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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秦清丶

新虫 (初入文坛)

[交流] 关于BCB6505光刻胶

有没有大神用过bcb6505正性光刻胶,按照这款光刻胶的说明书调试,但是在部分区域光刻胶总是脱落,有没有大神对于这款光刻胶有经验?目前PEB尝试过了,但是要么显不干净,要么脱落,感觉工艺窗口很小

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秦清丶

新虫 (初入文坛)

3楼2021-06-28 21:35:26
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秦清丶

新虫 (初入文坛)

说明书提到了PED,但是做了PED,脱落会更严重

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2楼2021-06-27 22:13:21
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