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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 关于BCB6505光刻胶
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秦清丶

新虫 (初入文坛)

[交流] 关于BCB6505光刻胶

有没有大神用过bcb6505正性光刻胶，按照这款光刻胶的说明书调试，但是在部分区域光刻胶总是脱落，有没有大神对于这款光刻胶有经验？目前PEB尝试过了，但是要么显不干净，要么脱落，感觉工艺窗口很小

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1楼 2021-06-27 22:12:45
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秦清丶

新虫 (初入文坛)
说明书提到了PED，但是做了PED，脱落会更严重

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2楼2021-06-27 22:13:21
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秦清丶

新虫 (初入文坛)
顶

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3楼2021-06-28 21:35:26
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