24小时热门版块排行榜    

查看: 875  |  回复: 1

溅射靶材

捐助贵宾 (初入文坛)


[交流] 关于钛溅射靶材你需要知道的一切-长沙鑫康 已有1人参与

Sample Text
钛溅射靶材

金属钛和钛溅射靶在本质上是一样的,都是由钛元素组成的;不同的是,金属钛更像是一种原材料,而钛靶材更像是一种钛制品。以钛为原料,可通过多种方法制成钛溅射靶材,主要用于各种镀膜,如平板显示、玻璃及装饰镀膜、太阳能镀膜等。要了解钛靶,首先要了解钛。
Sample Text
· 英国的业余矿物学家威廉·格雷戈尔牧师是第一个发现含钛矿物的人。
· 湾 马丁·海因里希·克拉普罗特(Martin Heinrich Klaproth)使用希腊语“泰坦尼克号”(Titanic)将元素命名为“钛”。
· 美国化学家马修·A·亨特(Matthew A. Hunter)用钛还原TiCl,生产出纯度为99.9%的金属钛。这是人类第一次获得纯钛。
Sample Text
钛溅射靶材与其源材料具有相同的特性。钛元素在地壳中分布广泛(约0.4%)。世界钛储量约34亿吨,在所有元素中排名第9位。钛是一种具有很高商业价值的材料,因其强度高、耐腐蚀性好、耐热性好等特点,被广泛应用于航空航天、汽车制造、医疗卫生等日常生活领域。钛的耐蚀性主要表现在钛在常温下不与空气发生反应。但在实际生产环境中,钛仍会发生不同种类的腐蚀.
Sample Text
“钛溅射靶材”中的“靶”一词来源于我们日常生活中常见的射击靶。在溅射沉积过程中,镀层材料受到电子束或离子束的轰击,就像靶材被击中一样,因此溅射工艺中使用的材料被称为“溅射靶材”。

从金属钛到钛溅射靶
钛溅射靶材是一种由金属钛制成的钛制品,用于溅射镀膜以生产钛薄膜。简单地说,用金属钛制作钛溅射靶材有两种方法。1.铸造将一定分配比的原料熔化,将合金溶液倒入模具中形成铸锭,最后加工成为溅射靶。该方法在真空中熔炼和铸造;2.粉末冶金:将一定分配比的原料熔化,铸成锭然后粉碎,等静压粉末,然后高温烧结,最终形成靶材。



Sample Text

钛溅射靶材的基本要求
一般来说,在衡量溅射靶材是否满足一级要求时,会考虑以下指标:
纯度:纯度对溅射镀膜的薄膜性能影响很大。以钛靶为例,纯度越高,溅射薄膜的耐腐蚀性和电学性能越好。
杂质含量:靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水蒸气是沉积膜的主要污染源。不同用途的靶材对其杂质含量有不同的要求。
密度:靶材的密度不仅会影响溅射速率,还会影响薄膜的电学和光学性能。因此,为了减少靶材固体中的孔隙,改善溅射薄膜的性能,通常要求靶材具有更高的密度。
晶粒尺寸和晶粒尺寸分布(详细分析):对于相同的靶材,细晶靶材的溅射速度比粗晶靶材快;晶粒尺寸差异较小(分布均匀)的靶溅射沉积膜的厚度更均匀。
以上指标作为溅射靶材的基本要求。不同应用对钛靶材的具体要求,请参考我们之前的文章钛靶材的应用和要求。

希望这篇文章可以帮助您更多地了解钛溅射靶材。我们是溅射靶材制造商,如果您对靶材有疑问欢迎留言
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

不认输

铜虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
请问如果应用于离子镀,粗晶和细晶靶材有区别吗?
2楼2021-08-02 17:24:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 溅射靶材 的主题更新
普通表情 高级回复 (可上传附件)
信息提示
请填处理意见