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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料化学 » 刻蚀
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11_4

新虫 (初入文坛)

[求助] 刻蚀 已有1人参与

做QLED发光器件，基板是买的ITO/Ag/ITO（ITO比较薄，大概20nm左右），需要自己裁成小片，也需要自己刻蚀。现在采用的刻蚀方法是，用透明胶带遮住不需要刻蚀掉的部分，棉签沾锌粉和盐酸擦拭基板。ITO可以被刻蚀掉，肉眼观察边缘不是很平整，但也没有严重的渗透，同时刻蚀后的基板上有划痕，每一步的操作都有戴手套，也比较注意尽量不碰有ITO的那一面，不清楚这个划痕是怎么产生的？做成器件后，器件可以被点亮，但漏电流很大，请问这是刻蚀没刻好的原因吗？有什么解决方法吗？

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1楼 2021-05-31 16:35:16
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帘后的赤裸

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

透明胶就能搞定的话，那别人搞的精密网版印刷，和耐酸保护油，就没意义了
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2楼2021-06-07 11:46:20
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