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physchem至尊木虫 (知名作家)
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[交流]
【请教】FESEM中的INLENS和SE2等模式
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请问一下ＩＮＬＥＮＳ和ＳＥ２ 的区别是什么，分别在什么情况下使用。 请说的详细一些，谢谢 |
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physchem
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3楼2009-08-20 05:18:30
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小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
physchem(金币+10,VIP+0):thanks 8-20 05:19
ufoer(金币+3,VIP+0):good 8-23 16:21
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inlens技术是LEO（现在的Zeiss)公司的Gemini镜筒上的专利，实际上就是把二次电子探头装在镜筒里，在物镜下方有一个静电透镜，通过静电透镜把二次电子拉到镜筒里。另一个我想应该是传统的安放在样品室侧壁上的二次电子探头吧，不知道为什么叫SE2。 一般inlens探头效果好一些，比较好同时兼顾景深和分辨率，这可是Zeiss电镜比别人贵一大截的主要原因，尤其是看比较深的坑，或者需要大景深的时候。有时候你的样品有很大的各相异性，纳米线什么的，用侧壁上的探头更方便一些。 因为LEO的inlens技术受到用户一致好评，FEI和JOEL都推出了自己的in lens版本，我没有用过，听说效果比Gemini要差一些。 |
2楼2009-08-13 09:41:32
