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physchem至尊木虫 (知名作家)
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【请教】FESEM中的INLENS和SE2等模式
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请问一下INLENS和SE2 的区别是什么,分别在什么情况下使用。 请说的详细一些,谢谢 |
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diwunju
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physchem(金币+10,VIP+0):thanks 8-20 05:19
ufoer(金币+3,VIP+0):good 8-23 16:21
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inlens技术是LEO(现在的Zeiss)公司的Gemini镜筒上的专利,实际上就是把二次电子探头装在镜筒里,在物镜下方有一个静电透镜,通过静电透镜把二次电子拉到镜筒里。另一个我想应该是传统的安放在样品室侧壁上的二次电子探头吧,不知道为什么叫SE2。 一般inlens探头效果好一些,比较好同时兼顾景深和分辨率,这可是Zeiss电镜比别人贵一大截的主要原因,尤其是看比较深的坑,或者需要大景深的时候。有时候你的样品有很大的各相异性,纳米线什么的,用侧壁上的探头更方便一些。 因为LEO的inlens技术受到用户一致好评,FEI和JOEL都推出了自己的in lens版本,我没有用过,听说效果比Gemini要差一些。 |
2楼2009-08-13 09:41:32
physchem
至尊木虫 (知名作家)
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3楼2009-08-20 05:18:30














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