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jinzhao628

新虫 (初入文坛)

[求助] 请教各位纳米加工大神,为什么在Ag上镀TiO2薄膜的光谱总是和理论对不上

结构比较简单,就是单纯的一维结构,在硅基底上先镀一层银,再镀一层TiO2

尝试过用ALD镀TiO2(前驱体为TiCl4),结果发现在高温过程后TiO2生长的很不均匀,光谱也和理论解对不上,薄膜表面存在可见的气泡

尝试过用磁控溅射镀两层结构,分别标定了折射率和厚度均没问题后,两层结构加工在一起就和理论解有极大的差别,不知为何银在可见光长波段和近红外区域的反射能力都被破坏了(靶材用的是导电的TiO2靶材,黑色,可能存在掺杂元素)

尝试过用电子束蒸镀镀双层结构,但会出现TiO2折射率偏小的问题(可能只有2.0~2.1),光谱和理论也对不上

请教一下各位大神上述加工失败的原因可能是什么,如何解决呢?
考虑到纳米银薄膜和纳米TiO2薄膜的特性,用什么工艺加工这种结构比较合适呢?

跪谢
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yajia13

新虫 (正式写手)

我就ALD镀过二氧化钛,可以先沉积层氧化铝,再沉积二氧化钛,光学膜二氧化钛也得掺杂氧化铝,看你对折射率和膜厚要求了

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4楼2021-05-31 01:20:31
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yajia13

新虫 (正式写手)

银能稳定存在吗不会被氧化吗

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2楼2021-05-30 18:24:47
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jinzhao628

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yajia13 at 2021-05-30 18:24:47
银能稳定存在吗不会被氧化吗

银基本上都是和TiO2层一起镀的,加工过程都抽了真空,被氧气氧化的可能性不大,但不知道是不是会被TiO2给氧化。请问您有这方面的经验嘛?
3楼2021-05-30 21:00:56
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jinzhao628

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by yajia13 at 2021-05-31 01:20:31
我就ALD镀过二氧化钛,可以先沉积层氧化铝,再沉积二氧化钛,光学膜二氧化钛也得掺杂氧化铝,看你对折射率和膜厚要求了

好的,谢谢您!我TiO2膜的厚度比较薄,在30nm左右,折射率需要2.3,请问如果镀ALD的话先沉积的氧化铝层一般需要多厚呀?
5楼2021-05-31 10:21:18
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