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lishaomen新虫 (小有名气)
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石英湿法刻蚀微观模拟
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| 有没有搞石英湿法刻蚀的前辈？主要用氢氟酸刻蚀石英，想请教一下，对于刻蚀过程中的固（晶体）-液反应中的微观过程，能否用第一性原理或者分子动力学来模拟？ |
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2楼2021-05-18 11:35:29
