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Jason573新虫 (小有名气)
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[求助]
求助，XPS测试的时候做了presputtering，没发现C1s峰
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如题，样品表面有污染，做了presputtering，然后C1s的峰就没了，请问各位大侠们这个时候应该要怎么校准呢？先感谢各位啦～ 发自小木虫IOS客户端 |
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hxju
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首先sputtering要谨慎，因为Ar离子刻蚀很可能导致元素的化学价态改变。结合能校准使用C 1s只是其中一种方法，也可以采用样品中的稳定成分作为内标进行结合能校准。 发自小木虫Android客户端 |
2楼2021-05-11 22:01:25
Jason573
新虫 (小有名气)
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非常感谢你的回答！我做完才发现用氩离子做刻蚀可能会导致价态变化，并且我做的还是二氧化钛，据说这个对氩离子很敏感。但我样品表面又被污染了，需要刻蚀掉，不知道还有没有其他的办法啊，哎  发自小木虫IOS客户端 |
3楼2021-05-11 22:16:40
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