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新虫 (小有名气)

[求助] 求助，XPS测试的时候做了presputtering，没发现C1s峰

如题，样品表面有污染，做了presputtering，然后C1s的峰就没了，请问各位大侠们这个时候应该要怎么校准呢？先感谢各位啦～

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1楼2021-05-11 20:14:52

木虫 (小有名气)

首先sputtering要谨慎，因为Ar离子刻蚀很可能导致元素的化学价态改变。结合能校准使用C 1s只是其中一种方法，也可以采用样品中的稳定成分作为内标进行结合能校准。

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2楼2021-05-11 22:01:25

新虫 (小有名气)

引用回帖:

2楼: Originally posted by hxju at 2021-05-11 22:01:25
首先sputtering要谨慎，因为Ar离子刻蚀很可能导致元素的化学价态改变。结合能校准使用C 1s只是其中一种方法，也可以采用样品中的稳定成分作为内标进行结合能校准。
...

非常感谢你的回答！我做完才发现用氩离子做刻蚀可能会导致价态变化，并且我做的还是二氧化钛，据说这个对氩离子很敏感。但我样品表面又被污染了，需要刻蚀掉，不知道还有没有其他的办法啊，哎

3楼2021-05-11 22:16:40

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