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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 湿法刻蚀的模拟方法
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lishaomen

新虫 (小有名气)

[求助] 湿法刻蚀的模拟方法 已有1人参与

有没有搞湿法刻蚀的前辈？想请教一下，对于刻蚀过程中的固-液反应中的微观过程，能否用第一性原理或者分子动力学来模拟？
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1楼 2021-05-10 15:16:26
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隼隼隼

铁虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

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lishaomen: 金币+50 2023-06-21 09:30:23
可以用介观方法，你查一下中科院长春光机所的文章，有搞二氧化硅湿法模拟仿真的
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5楼2023-06-21 09:29:58
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happyever83

禁虫 (职业作家)
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2楼2021-05-10 17:05:21
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lishaomen

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by happyever83 at 2021-05-10 17:05:21
有文献这么做的么？

我还在查
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3楼2021-05-10 17:34:39
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lishaomen

新虫 (小有名气)
貌似找到一些做的，cp2k，太困难了
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4楼2021-05-12 16:30:41
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