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lishaomen

新虫 (小有名气)

[求助] 湿法刻蚀的模拟方法 已有1人参与

有没有搞湿法刻蚀的前辈?想请教一下,对于刻蚀过程中的固-液反应中的微观过程,能否用第一性原理或者分子动力学来模拟?
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happyever83

禁虫 (职业作家)

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2楼2021-05-10 17:05:21
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lishaomen

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by happyever83 at 2021-05-10 17:05:21
有文献这么做的么?

我还在查
3楼2021-05-10 17:34:39
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lishaomen

新虫 (小有名气)

貌似找到一些做的,cp2k,太困难了
4楼2021-05-12 16:30:41
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隼隼隼

铁虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

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lishaomen: 金币+50 2023-06-21 09:30:23
可以用介观方法,你查一下中科院长春光机所的文章,有搞二氧化硅湿法模拟仿真的
5楼2023-06-21 09:29:58
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