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[交流]
【请教】关于光刻剥离的问题
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| 我想在si片上做器件，si片光刻之后我用电子束蒸发镀膜（Ni/Au），镀膜之后金属膜根本就剥离不下来，请高手指导。谢谢！（我个人认为是金属膜太厚（大约3000埃），把下面的光刻胶全部覆盖住了，因此丙酮与光刻胶无法接触，但对此我也没有好的解决办法。） |
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3楼2009-08-11 10:40:27
miloyy
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2楼2009-08-10 21:24:33
miloyy
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4楼2009-08-12 13:57:42