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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 前沿热点 » 【请教】关于光刻剥离的问题
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zjl-jac

铜虫 (初入文坛)

[交流] 【请教】关于光刻剥离的问题

我想在si片上做器件，si片光刻之后我用电子束蒸发镀膜（Ni/Au），镀膜之后金属膜根本就剥离不下来，请高手指导。谢谢！（我个人认为是金属膜太厚（大约3000埃），把下面的光刻胶全部覆盖住了，因此丙酮与光刻胶无法接触，但对此我也没有好的解决办法。）
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1楼 2009-08-10 15:36:03
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miloyy

木虫 (正式写手)
★ ★ ★
zjl-jac(金币+3,VIP+0): 8-11 10:40
镀金属的时候可以把某部分挡住吗
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2楼2009-08-10 21:24:33
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zjl-jac

铜虫 (初入文坛)
可以，我试过，没有镀金属的地方用丙酮一泡就能把光刻胶泡下来。
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3楼2009-08-11 10:40:27
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miloyy

木虫 (正式写手)
★ ★ ★ ★
zjl-jac(金币+3,VIP+0): 8-15 09:49
zjl-jac(金币+1,VIP+0): 8-15 09:49
引用回帖:
Originally posted by zjl-jac at 2009-8-11 10:40:
可以，我试过，没有镀金属的地方用丙酮一泡就能把光刻胶泡下来。

既然那部分泡下来了，丙酮不就渗进去了吗
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4楼2009-08-12 13:57:42
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