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HF中加入AgNO3能增加对二氧化硅的刻蚀速率吗 已有1人参与
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| 1.最近在小木虫看到硝酸银加入HF中能加快HF对于二氧化硅的刻蚀速率，请问是啥机理，硝酸银添加量多少合适。2.我查文献只找到HF/H2O2/AgNO3刻蚀得到硅阵列，请问要是不加H2O2，会对硅造成刻蚀吗，因为基底硅，怕洗去二氧化硅时，硅也被刻蚀。 |
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cc116
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2楼2021-04-08 13:54:37