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浮云总会有

银虫 (著名写手)

[求助] 金属辅助刻蚀硅片总是失败

大家好,最近本人在尝试制备硅纳米线,方法如下:
(1)硅片清洗(DI H2O,乙醇,丙酮)
(2)5% HF,90 s
(3)0.02 M AgNO3/10% HF,60 s
(4)10% HF:30% H2O2 (10:1, v%),8 min
(5)35% HNO3,10 min
试了好多遍了,硅片表面没有一点变化。硅片规格:p型,100 phase,1-5 Ω cm,单面抛光。每一步都很小心,不知道为什么。
AgNO3可能有点问题,在10% HF溶液中形成了大量沉淀,不知是不是因为Ag没有在硅片表面覆盖,所以才无法刻蚀的。
刻蚀结束后,硅片表面无任何变化,抛光的一面还是可以映出倒影来。
求有经验的老师和同学指点迷津。
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zzkejing

禁虫 (正式写手)

sty112: 屏蔽内容, 违规存档 2021-04-28 09:45:39
本帖内容被屏蔽

4楼2021-04-17 23:51:34
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QJiang

铁杆木虫 (著名写手)

搞学术的帅比

应该是前三步的问题,并且催化剂Ag纳米颗粒没有负载上,第一步,清洗,可以试一下食人鱼溶液;第二步,HF可以刻蚀时间长些。如果生成Si-H,Ag离子会被立即还原的!

发自小木虫IOS客户端
fighting...
2楼2021-04-05 01:40:55
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浮云总会有

银虫 (著名写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by QJiang at 2021-04-05 01:40:55
应该是前三步的问题,并且催化剂Ag纳米颗粒没有负载上,第一步,清洗,可以试一下食人鱼溶液;第二步,HF可以刻蚀时间长些。如果生成Si-H,Ag离子会被立即还原的!

非常感谢!
3楼2021-04-05 15:48:23
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