| 查看: 703 | 回复: 3 | ||
| 【悬赏金币】回答本帖问题，作者浮云总会有将赠送您 50 个金币 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
浮云总会有银虫 (著名写手)
|
[求助]
金属辅助刻蚀硅片总是失败
|
|
|
大家好，最近本人在尝试制备硅纳米线，方法如下： （1）硅片清洗（DI H2O，乙醇，丙酮） （2）5% HF，90 s （3）0.02 M AgNO3/10% HF，60 s （4）10% HF：30% H2O2 （10：1， v%），8 min （5）35% HNO3，10 min 试了好多遍了，硅片表面没有一点变化。硅片规格：p型，100 phase，1-5 Ω cm，单面抛光。每一步都很小心，不知道为什么。 AgNO3可能有点问题，在10% HF溶液中形成了大量沉淀，不知是不是因为Ag没有在硅片表面覆盖，所以才无法刻蚀的。 刻蚀结束后，硅片表面无任何变化，抛光的一面还是可以映出倒影来。 求有经验的老师和同学指点迷津。 |
回复此楼» 猜你喜欢
广东以理材料系碳点与功能材料课题组 — 2博士名额 / 科研助理
已经有12人回复
-
24考博孤注一掷，寄在了复试，但是还是想上一个学
已经有41人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有131人回复
-
P4VP的GPC测试
已经有3人回复
-
求购商用高炉煤气精脱硫水解催化剂
已经有37人回复
-
中国科学技术大学苏州独墅会议，报销国际差旅，诚邀您的参加！
已经有0人回复
-
中国科学技术大学@苏州·独墅会议，报销国际差旅，诚邀您的参加！
已经有0人回复
-
CV测试为什么非常不稳定
已经有14人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
浮云总会有
银虫 (著名写手)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 2137.3
- 散金: 2962
- 红花: 9
- 帖子: 1816
- 在线: 162.5小时
- 虫号: 2730426
- 注册: 2013-10-16
- 性别: GG
- 专业: 无机材料化学
3楼2021-04-05 15:48:23
QJiang
铁杆木虫 (著名写手)
搞学术的帅比
- 应助: 6 (幼儿园)
- 金币: 9635.9
- 红花: 12
- 帖子: 2123
- 在线: 547.5小时
- 虫号: 2443283
- 注册: 2013-05-01
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
|
应该是前三步的问题，并且催化剂Ag纳米颗粒没有负载上，第一步，清洗，可以试一下食人鱼溶液；第二步，HF可以刻蚀时间长些。如果生成Si-H,Ag离子会被立即还原的！ 发自小木虫IOS客户端 |
2楼2021-04-05 01:40:55
sty112: 屏蔽内容, 违规存档 2021-04-28 09:45:39
|
本帖内容被屏蔽 |
4楼2021-04-17 23:51:34
30