24小时热门版块排行榜    

查看: 839  |  回复: 3
【悬赏金币】回答本帖问题,作者风潜将赠送您 10 个金币
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

风潜

新虫 (正式写手)

[求助] 台阶仪测量膜厚

我在测试的时候发现,在针扫过的位置会留一道比较明显的划痕,此时针尖压力已经调到最小了,而且针没有损坏,在标定的时候厚度在合理范围内,请问这是为什么?有什么解决办法?

发自小木虫Android客户端
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

风潜

新虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 金枪鱼 at 2021-03-30 06:08:30
膜附着力太差了?以前有用过台阶仪,没关注过这个问题。知道大概厚度了,用椭偏仪测吧,无损的;做到硅片上,白光干涉仪也可以测。瞎说的,有更专业的回复更好

嗯嗯,应该是,我又试了一下别的薄膜,发现没有出现这种情况,可以排除台阶仪本身的问题,那就应该是薄膜的问题了

发自小木虫Android客户端
3楼2021-03-30 08:13:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 4 个回答

金枪鱼

银虫 (正式写手)

膜附着力太差了?以前有用过台阶仪,没关注过这个问题。知道大概厚度了,用椭偏仪测吧,无损的;做到硅片上,白光干涉仪也可以测。瞎说的,有更专业的回复更好

发自小木虫Android客户端
佛为心,道为骨,儒为表,大度看世界;技在手,能在身,思在脑,从容过生活
2楼2021-03-30 06:08:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

风潜

新虫 (正式写手)

薄膜厚度不均匀以及薄膜成膜性不太好,测试的时候会有这种情况吗?

发自小木虫Android客户端
4楼2021-03-30 10:31:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
不应助 确定回帖应助 (注意:应助才可能被奖励,但不允许灌水,必须填写15个字符以上)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] FileCode能看出啥? +8 要乐观耀哥 2026-08-10 23/1150 2026-08-13 00:35 by 要乐观耀哥
[基金申请] 2019年青年基金涵评意见,大家看看几个A,几个B? +10 Tide man 2026-08-11 10/500 2026-08-12 20:59 by 陈晨晨陈啊
[基金申请] 不应该看fileCode +5 且听虎啸 2026-08-12 6/300 2026-08-12 16:26 by Tide man
[基金申请] 长年满屏的广告,版主太不责任了。基金也等的急 +4 gltch 2026-08-12 4/200 2026-08-12 16:08 by eulota
[论文投稿] 职称评审,求友友推荐见刊最快的期刊 +4 工厂打螺丝 2026-08-08 4/200 2026-08-12 09:18 by hansi2025
[基金申请] 小木虫上这么多卖论文的,真有人买论文么?感觉没必要啊 +8 Tide man 2026-08-10 9/450 2026-08-11 20:39 by beefly
[基金申请] 有时候,自然基金真的不能太认真 (我的申报经验) +3 majunge000 2026-08-11 4/200 2026-08-11 20:13 by lch2012
[基金申请] 帮忙看看fileCode +7 wwncly 2026-08-10 13/650 2026-08-11 19:36 by 冰心玉壶晴
[基金申请] 为什么网上很多人说本周 12号出结果 +6 瞬息宇宙 2026-08-10 7/350 2026-08-11 19:25 by Tide man
[硕博家园] 读博的好处 +3 lnee 2026-08-11 3/150 2026-08-11 18:10 by 希望我好好的
[基金申请] 基金中了 +15 laoda193707 2026-08-06 15/750 2026-08-11 00:11 by jiafei2190
[基金申请] 确定了,国自然21号放榜 +6 布布和一二 2026-08-10 7/350 2026-08-10 19:15 by 2000zf36392
[基金申请] 静等基金结果 +5 gjjjzhong 2026-08-10 16/800 2026-08-10 17:19 by Tide man
[基金申请] 据悉今年马上要出结果了 +7 瞬息宇宙 2026-08-10 8/400 2026-08-10 12:42 by Vivilian
[基金申请] fileCode有新解读? +10 Tide man 2026-08-08 18/900 2026-08-09 12:55 by 仁砚薪传
[基金申请] 关于filecode,很负责任的告诉大家 +6 爱看书的可乐 2026-08-08 7/350 2026-08-08 22:13 by a_niu
[基金申请] 关于filecode +4 布布和一二 2026-08-07 7/350 2026-08-07 22:55 by zhanghaozhu
[基金申请] 化学口download_prp&fileCode的固定段好像这几天一直没变,有变的大神么? +3 Tide man 2026-08-07 4/200 2026-08-07 22:39 by Tide man
[基金申请] filecode变化情况 +6 布布和一二 2026-08-07 22/1100 2026-08-07 14:45 by 且听虎啸
[基金申请] filecode +14 等待解的谜 2026-08-06 19/950 2026-08-07 12:20 by wlwhappy
信息提示
请填处理意见