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新虫 (正式写手)

[求助] 台阶仪测量膜厚

我在测试的时候发现，在针扫过的位置会留一道比较明显的划痕，此时针尖压力已经调到最小了，而且针没有损坏，在标定的时候厚度在合理范围内，请问这是为什么？有什么解决办法？

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1楼2021-03-29 13:57:44

新虫 (正式写手)

引用回帖:

2楼: Originally posted by 金枪鱼 at 2021-03-30 06:08:30
膜附着力太差了？以前有用过台阶仪，没关注过这个问题。知道大概厚度了，用椭偏仪测吧，无损的；做到硅片上，白光干涉仪也可以测。瞎说的

，有更专业的回复更好

嗯嗯，应该是，我又试了一下别的薄膜，发现没有出现这种情况，可以排除台阶仪本身的问题，那就应该是薄膜的问题了

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3楼2021-03-30 08:13:13

银虫 (正式写手)

膜附着力太差了？以前有用过台阶仪，没关注过这个问题。知道大概厚度了，用椭偏仪测吧，无损的；做到硅片上，白光干涉仪也可以测。瞎说的

，有更专业的回复更好

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佛为心，道为骨，儒为表，大度看世界；技在手，能在身，思在脑，从容过生活

2楼2021-03-30 06:08:30

新虫 (正式写手)

薄膜厚度不均匀以及薄膜成膜性不太好，测试的时候会有这种情况吗？

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4楼2021-03-30 10:31:19