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风潜

新虫 (正式写手)

[求助] 台阶仪测量膜厚

我在测试的时候发现,在针扫过的位置会留一道比较明显的划痕,此时针尖压力已经调到最小了,而且针没有损坏,在标定的时候厚度在合理范围内,请问这是为什么?有什么解决办法?

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金枪鱼

银虫 (正式写手)

膜附着力太差了?以前有用过台阶仪,没关注过这个问题。知道大概厚度了,用椭偏仪测吧,无损的;做到硅片上,白光干涉仪也可以测。瞎说的,有更专业的回复更好

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佛为心,道为骨,儒为表,大度看世界;技在手,能在身,思在脑,从容过生活
2楼2021-03-30 06:08:30
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风潜

新虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 金枪鱼 at 2021-03-30 06:08:30
膜附着力太差了?以前有用过台阶仪,没关注过这个问题。知道大概厚度了,用椭偏仪测吧,无损的;做到硅片上,白光干涉仪也可以测。瞎说的,有更专业的回复更好

嗯嗯,应该是,我又试了一下别的薄膜,发现没有出现这种情况,可以排除台阶仪本身的问题,那就应该是薄膜的问题了

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3楼2021-03-30 08:13:13
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风潜

新虫 (正式写手)

薄膜厚度不均匀以及薄膜成膜性不太好,测试的时候会有这种情况吗?

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4楼2021-03-30 10:31:19
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