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nononorain

新虫 (初入文坛)

[交流] 仿真分析ICP刻蚀硅片时工艺参数对刻蚀形貌的影响,有做过这方面的吗

本科毕业论文,导师要我仿真分析ICP刻蚀硅片时工艺参数对刻蚀形貌的影响,以及腔室内气体分布模拟,有做过这方面的吗,silvaco能做出来吗,有相对容易学的软件吗
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czcdxmc

木虫 (正式写手)

MEMS小学生


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
有比silvaco更难的软件,comsol

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学海无涯,回头是岸。
3楼2021-03-25 18:10:51
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czcdxmc

木虫 (正式写手)

MEMS小学生


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
本科就搞这个,厉害

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学海无涯,回头是岸。
2楼2021-03-25 18:05:57
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nononorain

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by czcdxmc at 2021-03-25 18:05:57
本科就搞这个,厉害

完全不会呀,COMSOL更不会。
4楼2021-03-26 08:53:19
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czcdxmc

木虫 (正式写手)

MEMS小学生


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
4楼: Originally posted by nononorain at 2021-03-26 08:53:19
完全不会呀,COMSOL更不会。...

我做硅刻蚀也好几年了,还是小学生。你什么专业,这么早做这个,物理,微电子?

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学海无涯,回头是岸。
5楼2021-03-26 10:35:52
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