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nononorain新虫 (初入文坛)
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[交流]
仿真分析ICP刻蚀硅片时工艺参数对刻蚀形貌的影响，有做过这方面的吗
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本科毕业论文，导师要我仿真分析ICP刻蚀硅片时工艺参数对刻蚀形貌的影响，以及腔室内气体分布模拟，有做过这方面的吗，silvaco能做出来吗，有相对容易学的软件吗 |
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