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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 晶体 » 测试表征 » XRD的穿透深度？
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mahl05

禁虫 (正式写手)
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1楼 2009-08-06 20:19:06
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
waiy2001(金币+1,VIP+0):谢谢交流 8-21 21:05
薄膜可以作掠入射扫描。
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没有困难创造困难也要上网。
7楼2009-08-21 16:48:06
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zhuzhen

木虫 (正式写手)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
waiy2001(金币+1,VIP+0):谢谢交流 8-21 21:03
做过30nm的，峰型还不错，再薄呢？
赞一下(11人) 回复此楼
2楼2009-08-06 22:49:00
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bryano

木虫 (正式写手)
★
waiy2001(金币+1,VIP+0):谢谢交流 8-21 21:03
至少10纳米左右都没问题，略入射需要样品的面积够大。
赞一下(10人) 回复此楼
3楼2009-08-07 01:29:04
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yjyang07

木虫 (著名写手)
★
waiy2001(金币+1,VIP+0):谢谢交流 8-21 21:04
引用回帖:
Originally posted by mahl05 at 2009-8-6 20:19:
对于薄膜样品测XRD，不能太薄，那大概薄到什么尺度不能再测XRD的呢？？

这个与你样品和仪器的性能有关
还看过薄膜5nm左右的xrd
赞一下(10人) 回复此楼
天行健，君子以自强不息～～～～～
4楼2009-08-17 18:38:32
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