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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 磁控溅射过3分钟，溅射电压升高
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ws4231153

新虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射过3分钟，溅射电压升高 已有1人参与

请教一下，最近做磁控溅射合金靶，一开始溅射电压400V左右，过了3分钟，一秒升高1V，没几分钟就升高到500 600V了，请问是什么原因呢？每次做之前也打磨了靶材，3分钟之前都挺稳定，3分钟之后就急速上升，这样溅射时间可不敢做久了
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1楼 2021-03-14 15:40:05
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典誉新材料

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

电压升高的话，电流有无变化，考虑是阴极和靶材接触部分绝缘不佳引起的，其次再检查下电源情况！
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3楼2021-04-23 09:03:58
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匿名

用户注销 (正式写手)
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2楼2021-03-15 06:51:05
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