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磁控溅射过3分钟，溅射电压升高 已有1人参与
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| 请教一下，最近做磁控溅射合金靶，一开始溅射电压400V左右，过了3分钟，一秒升高1V，没几分钟就升高到500 600V了，请问是什么原因呢？每次做之前也打磨了靶材，3分钟之前都挺稳定，3分钟之后就急速上升，这样溅射时间可不敢做久了 |
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