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54173285

新虫 (初入文坛)

[交流] 磁控溅射 已有2人参与

磁控溅射时基片位于负辉光区吗？怎样使它位于负辉光区？

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1楼 2021-03-13 16:30:32
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匿名

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6楼2021-03-15 06:53:24
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匿名

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2楼2021-03-13 16:49:23
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54173285

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by TaoGG at 2021-03-13 16:49:23
你这说法不明确，基片可以处于正负区都可以，看你怎么放置。我们平时镀膜时，基片处于负辉光区。

怎样是它位于负辉光区呢，根据靶基距吗？

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3楼2021-03-13 17:24:17
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匿名

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4楼2021-03-13 19:38:33
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