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磁控溅射
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磁控溅射时基片位于负辉光区吗?怎样使它位于负辉光区?
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Originally posted by
TaoGG
at 2021-03-13 16:49:23
你这说法不明确,基片可以处于正负区都可以,看你怎么放置。我们平时镀膜时,基片处于负辉光区。
怎样是它位于负辉光区呢,根据靶基距吗?
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3楼
2021-03-13 17:24:17
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4楼
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Originally posted by
TaoGG
at 2021-03-13 19:38:33
多看看书哦
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刚接触,不大懂
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2021-03-13 20:09:31
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