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ws4231153

新虫 (小有名气)

[求助] 关于黏附层的问题

我现在做一个三明治结构,底点极是Pt需要用Ti打底,我现在做的上电极也是用这种方法,请教一下上电极是不是不需要做Ti来增加于中间功能薄膜的附着力,直接做Pt就行了??

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wang_1111

新虫 (初入文坛)

想咨询一下Ti的厚度和工艺,我最近做出来的Ti膜的电阻在2000Ω左右,跟金属TI有一些偏差,沈科仪的设备。
2楼2021-06-05 23:26:55
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ws4231153

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by wang_1111 at 2021-06-05 23:26:55
想咨询一下Ti的厚度和工艺,我最近做出来的Ti膜的电阻在2000Ω左右,跟金属TI有一些偏差,沈科仪的设备。

我做出来的TI也是这个阻值
3楼2021-07-19 20:45:59
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