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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 其它 » 求大佬帮忙一下，用pdms倒硅片上面的微结构时，因为交联不完全，pdms很黏去除不掉
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十年啊

新虫 (小有名气)

[求助] 求大佬帮忙一下，用pdms倒硅片上面的微结构时，因为交联不完全，pdms很黏去除不掉

想知道用什么可以去除pdms同时不对硅片造成影响

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1楼 2021-03-01 07:41:10
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十年啊

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by MEMSlee at 2021-03-01 08:50:51
PDMS很难去除的，以前也遇到这种情况。你用硫酸和双氧水洗一下

硅片上有微米级的结构，硫酸会不会对硅片造成影响？另外如果清洗的话有配比吗！谢谢大佬

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3楼2021-03-01 09:45:16
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MEMSlee

捐助贵宾 (著名写手)
PDMS很难去除的，以前也遇到这种情况。你用硫酸和双氧水洗一下

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2楼2021-03-01 08:50:51
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sh_wizone

木虫 (著名写手)
楼主解决了吗，我这里倒是有相关的清洗剂可以推荐一下，对硅片自身无影响。
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前涂料工程师，现做表活助剂研发生产157 2136 0708
4楼2021-03-03 09:53:43
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十年啊

新虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by sh_wizone at 2021-03-03 09:53:43
楼主解决了吗，我这里倒是有相关的清洗剂可以推荐一下，对硅片自身无影响。

能完全清除掉pdms吗，因为上面粘了很多

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5楼2021-03-03 11:30:36
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