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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【求助】半导体扩散工艺
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liujun09

铜虫 (小有名气)

[交流] 【求助】半导体扩散工艺

最近碰到实验中需要做一个PN结，需要做半导体掺杂，离子注入没有条件，只得采用扩散方法，但我只知道一点简单的原理和基本流程。对具体的工艺过程和细节以及需要注意的问题不清楚，有哪位师兄师姐能否提供一点资料，或者给指条明路，谢谢
我邮箱：liujun09@gmail.com
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智者之虑，必杂于利害。
1楼 2009-07-30 21:25:10
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liujun09

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by bnuxin at 2009-8-3 11:44:
可以用固体源或气体源
气体源好，但是要扩散炉
固体源看着方法很简单，但是用起来其实很麻烦
对掺杂浓度的控制基本靠经验
建议去找专业作扩散的或者找地方做离子注入

谢谢指点
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智者之虑，必杂于利害。
3楼2009-08-03 21:03:04
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bnuxin

银虫 (小有名气)
可以用固体源或气体源
气体源好，但是要扩散炉
固体源看着方法很简单，但是用起来其实很麻烦
对掺杂浓度的控制基本靠经验
建议去找专业作扩散的或者找地方做离子注入
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2楼2009-08-03 11:44:59
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一丝清凉

铜虫 (小有名气)
下几篇关于扩散方面的文献看一下不就知道个大概的工艺流程了吗，最好下硕博士论文
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4楼2009-08-06 09:18:49
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