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【求助】半导体扩散工艺
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最近碰到实验中需要做一个PN结，需要做半导体掺杂，离子注入没有条件，只得采用扩散方法，但我只知道一点简单的原理和基本流程。对具体的工艺过程和细节以及需要注意的问题不清楚，有哪位师兄师姐能否提供一点资料，或者给指条明路，谢谢 我邮箱：liujun09@gmail.com |
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