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【求助】硅中杂质与电阻率曲线
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| 最近，我们用母合金掺杂多晶硅铸锭常出现转型，对电阻率的控制很不到位，我们对原生多晶硅的电阻率数据是通过提拉单晶硅得出的，为了准确得到原生多晶的电阻率数据，我需要找个硅中杂质与电阻率对照表，不知道有没有这样的表？ |
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2楼2009-07-30 09:57:47
frankwang583
金虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
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- 注册: 2008-04-10
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- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
具体点是什么掺杂,两是多少? 
3楼2009-08-03 14:59:00
