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【求助】硅中杂质与电阻率曲线
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| 最近,我们用母合金掺杂多晶硅铸锭常出现转型,对电阻率的控制很不到位,我们对原生多晶硅的电阻率数据是通过提拉单晶硅得出的,为了准确得到原生多晶的电阻率数据,我需要找个硅中杂质与电阻率对照表,不知道有没有这样的表? |
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2楼2009-07-30 09:57:47
frankwang583
金虫 (正式写手)
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- 专业: 半导体晶体与薄膜材料

3楼2009-08-03 14:59:00













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具体点是什么掺杂,两是多少?