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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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Norla

新虫 (初入文坛)

[交流] 科研院所寻求小批量TSV代工 已有4人参与

请问下坛内大佬有没有做TSV(硅通孔(through-silicon vias)工艺代工的推荐呢,深宽比10:1左右的,感谢。
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MEMSlee

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4楼2021-01-22 22:46:45
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酸菜鱼jie

禁虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
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2楼2021-01-22 10:23:05
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Norla

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 酸菜鱼jie at 2021-01-22 10:23:05
具体结构是什么样的呢?比如线宽和深度?

直径大概20-30um,深度大概100-200um
3楼2021-01-22 13:55:02
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Norla

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by MEMSlee at 2021-01-22 22:46:45
几寸片量大吗

具体量还不清楚,但是应该不大,应该是8寸或者12寸
5楼2021-01-25 14:56:19
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