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Norla

新虫 (初入文坛)

[交流] 科研院所寻求小批量TSV代工已有4人参与

请问下坛内大佬有没有做TSV(硅通孔(through-silicon vias)工艺代工的推荐呢,深宽比10:1左右的,感谢。
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酸菜鱼jie

禁虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
本帖内容被屏蔽

2楼2021-01-22 10:23:05
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Norla

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 酸菜鱼jie at 2021-01-22 10:23:05
具体结构是什么样的呢?比如线宽和深度?

直径大概20-30um,深度大概100-200um
3楼2021-01-22 13:55:02
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MEMSlee

捐助贵宾 (著名写手)


4楼2021-01-22 22:46:45
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Norla

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by MEMSlee at 2021-01-22 22:46:45
几寸片量大吗

具体量还不清楚,但是应该不大,应该是8寸或者12寸
5楼2021-01-25 14:56:19
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lithofab

新虫 (正式写手)

我好像认识的有。
6楼2021-02-05 11:55:23
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Norla

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
6楼: Originally posted by lithofab at 2021-02-05 11:55:23
我好像认识的有。

是哪家单位呢?
7楼2021-02-05 15:11:53
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lithofab

新虫 (正式写手)

引用回帖:
7楼: Originally posted by Norla at 2021-02-05 15:11:53
是哪家单位呢?...

私聊
8楼2021-02-08 10:15:20
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kingwhy2008

银虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
北京微电子所。一般有DRIE设备的地方都有这个能力

发自小木虫IOS客户端
9楼2022-04-14 12:19:11
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