应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » InP上PECVD法生长SiN应力问题
31/1返回列表
查看: 1583  |  回复: 2
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

Norla

新虫 (初入文坛)

[交流] InP上PECVD法生长SiN应力问题 已有1人参与

化合物半导体工艺大神们，有个技术问题求教一下，在InP上长SiN钝化，能扛得住500多度高温的Zn扩散不会裂开，也挡得住扩散就行。试了很久，要么很容易就在高温下起泡要么就扛不住Zn扩散，测暗电流测出来很大，高温出来用稀盐酸一泡就全部掉了，感觉应该是应力问题。目前recipe的条件如下：

工作频率： 13.65MHz

温度：260℃

压强：1.5Pa

power：500W

SiH4 ：110 sccm（He保护气，5% 的 SiH4含量）

NH3 : 8.8 sccm

Ar：1000sccm

现在成膜速率大概十几nm/min。没有N2管路，所以只能试NH3。各位大神走过路过麻烦指点一下，谢谢
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2021-01-19 14:12:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

MEMSlee

捐助贵宾 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
功率太大了，还有氮化硅要高低频沉积应力才可控
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2021-01-20 21:48:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Norla

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by MEMSlee at 2021-01-20 21:48:10
功率太大了，还有氮化硅要高低频沉积应力才可控

哦哦，感谢。看来功率是个方向
赞一下 回复此楼
3楼2021-01-21 09:10:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 Norla 的主题更新
31/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +4 ZYXdhzDAy9ZX 2026-09-28 4/200 2026-10-03 09:46 by Equinoxhua
[找工作] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +4 ZYXdhzDAy9ZX 2026-09-28 4/200 2026-10-03 08:49 by Equinoxhua
[公派出国] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +5 IDs3scOF0tjC 2026-09-28 6/300 2026-10-03 08:47 by Equinoxhua
[考研] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +4 tqUTOxClQUMF 2026-09-28 4/200 2026-10-01 21:07 by Equinoxhua
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +7 IDs3scOF0tjC 2026-09-28 8/400 2026-10-01 19:08 by Equinoxhua
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 CfXuS1rDhLYN 2026-09-28 4/200 2026-10-01 09:23 by Equinoxhua
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 cqwQDCxMcL3I 2026-09-29 4/200 2026-09-30 16:33 by Z9YWQ5EAO3qp
[公派出国] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 cqwQDCxMcL3I 2026-09-29 6/300 2026-09-30 16:26 by Z9YWQ5EAO3qp
[考研] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 cqwQDCxMcL3I 2026-09-29 6/300 2026-09-30 16:14 by Z9YWQ5EAO3qp
[教师之家] 某top大学教授说“能够在市场中兑现的能力才是真能力”无比同意！ +10 zju2000 2026-09-26 13/650 2026-09-30 10:26 by yexuqing
[博后之家] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +4 IDs3scOF0tjC 2026-09-28 4/200 2026-09-29 19:27 by cqwQDCxMcL3I
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +4 ZYXdhzDAy9ZX 2026-09-28 4/200 2026-09-29 16:54 by yCO1Ll7aHtsw
[论文投稿] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 tqUTOxClQUMF 2026-09-28 4/200 2026-09-29 15:15 by etmYJ6d2rquH
[博后之家] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 tqUTOxClQUMF 2026-09-28 3/150 2026-09-29 15:04 by etmYJ6d2rquH
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 GDBe8tDZqE8z 2026-09-28 3/150 2026-09-29 14:30 by etmYJ6d2rquH
[找工作] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +6 IDs3scOF0tjC 2026-09-28 6/300 2026-09-29 14:13 by etmYJ6d2rquH
[考研] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 GDBe8tDZqE8z 2026-09-28 3/150 2026-09-28 23:12 by b8fCuTHqckEt
[公派出国] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +4 IDs3scOF0tjC 2026-09-28 4/200 2026-09-28 22:55 by ez6fGg9abYaj
[找工作] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 IDs3scOF0tjC 2026-09-28 5/250 2026-09-28 22:32 by ez6fGg9abYaj
[考研] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +3 IDs3scOF0tjC 2026-09-28 4/200 2026-09-28 18:51 by 9lS3ad5oOymn
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭