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西门吹雪4

新虫 (初入文坛)

[交流] 磁控直流溅射钛颜色变成了蓝绿色! 已有1人参与

求助,磁控溅射直流电源溅射钛靶颜色变成了蓝绿色(全新的靶),之前都是正常的,为紫红色,大概2个月多没用,这次打开溅射就变成了蓝绿色,随着功率增加,颜色越绿,这是什么情况啊,电源哪去维修检测,在厂家测试正常,为紫红色辉光,采用射频电源接直流电源所对应的靶头,颜色也为紫红色,糊涂了不知道什么原因,如何解决,设备商人员也不知到哪里的问题,求助大家!!!

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mahl05

禁虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
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3楼2020-12-29 21:48:15
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西门吹雪4

新虫 (初入文坛)

送红花一朵
引用回帖:
1楼: Originally posted by 西门吹雪4 at 2020-12-08 22:41:47
求助,磁控溅射直流电源溅射钛靶颜色变成了蓝绿色(全新的靶),之前都是正常的,为紫红色,大概2个月多没用,这次打开溅射就变成了蓝绿色,随着功率增加,颜色越绿,这是什么情况啊,电源哪去维修检测,在厂家测试 ...

直流溅射钛如图
磁控直流溅射钛颜色变成了蓝绿色!


磁控直流溅射钛颜色变成了蓝绿色!-1



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2楼2020-12-08 22:47:59
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