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磁控直流溅射钛颜色变成了蓝绿色！ 已有1人参与
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求助，磁控溅射直流电源溅射钛靶颜色变成了蓝绿色（全新的靶），之前都是正常的，为紫红色，大概2个月多没用，这次打开溅射就变成了蓝绿色，随着功率增加，颜色越绿，这是什么情况啊，电源哪去维修检测，在厂家测试正常，为紫红色辉光，采用射频电源接直流电源所对应的靶头，颜色也为紫红色，糊涂了不知道什么原因，如何解决，设备商人员也不知到哪里的问题，求助大家！！！ 发自小木虫IOS客户端 |
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2楼2020-12-08 22:47:59
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3楼2020-12-29 21:48:15