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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 磁控直流溅射钛颜色变成了蓝绿色！
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西门吹雪4

新虫 (初入文坛)

[交流] 磁控直流溅射钛颜色变成了蓝绿色！ 已有1人参与

求助，磁控溅射直流电源溅射钛靶颜色变成了蓝绿色（全新的靶），之前都是正常的，为紫红色，大概2个月多没用，这次打开溅射就变成了蓝绿色，随着功率增加，颜色越绿，这是什么情况啊，电源哪去维修检测，在厂家测试正常，为紫红色辉光，采用射频电源接直流电源所对应的靶头，颜色也为紫红色，糊涂了不知道什么原因，如何解决，设备商人员也不知到哪里的问题，求助大家！！！

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西门吹雪4

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1楼 2020-12-08 22:41:47
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西门吹雪4

新虫 (初入文坛)
送红花一朵
引用回帖:
1楼: Originally posted by 西门吹雪4 at 2020-12-08 22:41:47
求助，磁控溅射直流电源溅射钛靶颜色变成了蓝绿色（全新的靶），之前都是正常的，为紫红色，大概2个月多没用，这次打开溅射就变成了蓝绿色，随着功率增加，颜色越绿，这是什么情况啊，电源哪去维修检测，在厂家测试 ...

直流溅射钛如图
磁控直流溅射钛颜色变成了蓝绿色！


磁控直流溅射钛颜色变成了蓝绿色！-1



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2楼2020-12-08 22:47:59
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mahl05

禁虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
本帖内容被屏蔽
3楼2020-12-29 21:48:15
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