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郭浩

铜虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】请问如何分析薄膜成分?

在生长薄膜时进行掺杂,但是不能控制掺杂量,想最后通过测量看看自己到底掺杂了多少。
请问各位,通过什么手段可以测量呢?我理解能力有限,麻烦说的具体点。
多谢各位
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maths2651

铁杆木虫 (正式写手)

Gadfly

★ ★
ufoer(金币+1,VIP+0):3x 7-25 16:14
郭浩(金币+1,VIP+0):是EPMA吗? 7-27 09:21
建议试试SEM中的能谱,可以看出元素含量
9楼2009-07-25 15:27:30
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查看全部 16 个回答

zhuzhen

木虫 (正式写手)

★ ★ ★ ★
ufoer(金币+2,VIP+0):good idea 7-25 11:32
郭浩(金币+2,VIP+0):没卢瑟福背散射,EPMA可以不 7-27 09:18
rbs xps eds都行,我们一般用卢瑟福背散射
2楼2009-07-25 10:34:22
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mse507

木虫 (正式写手)

★ ★
ufoer(金币+1,VIP+0):3x 7-25 11:33
郭浩(金币+1,VIP+0):MOCVD。因为没有质量流量计,掺杂源是固体,只是通过温度调节饱和蒸汽压,很麻烦。我还是新手,可能没说明白,请见谅。 7-27 09:20
引用回帖:
Originally posted by 郭浩 at 2009-7-25 10:27:
在生长薄膜时进行掺杂,但是不能控制掺杂量,想最后通过测量看看自己到底掺杂了多少。
请问各位,通过什么手段可以测量呢?我理解能力有限,麻烦说的具体点。
多谢各位

为什么不能控制掺量?你们采用什么方法制备薄膜?
4楼2009-07-25 11:14:01
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jiazc

木虫 (正式写手)

★ ★
闪闪红心(金币+1,VIP+0):谢谢 7-25 12:46
郭浩(金币+1,VIP+0):谢谢 7-27 09:20
通常用XPS就能搞定,如果元素原子序数太小可考虑用SIMS
5楼2009-07-25 11:54:10
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