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郭浩

铜虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 39
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在线: 1.2小时
虫号: 735292
注册: 2009-03-30
性别: GG
专业: 光电子学

[交流] 【求助】请问如何分析薄膜成分？

在生长薄膜时进行掺杂，但是不能控制掺杂量，想最后通过测量看看自己到底掺杂了多少。
请问各位，通过什么手段可以测量呢？我理解能力有限，麻烦说的具体点。
多谢各位

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1楼 2009-07-25 10:27:31

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maths2651

铁杆木虫 (正式写手)

Gadfly

应助: 1 (幼儿园)
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帖子: 868
在线: 129.4小时
虫号: 284900
注册: 2006-10-14
性别: GG
专业: 胶体与界面化学

呵呵，很热烈的交流

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15楼2009-07-27 14:31:47

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zhuzhen

木虫 (正式写手)

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注册: 2008-10-11
性别: GG
专业: 半导体光电子器件

★ ★ ★ ★
ufoer(金币+2,VIP+0):good idea 7-25 11:32
郭浩(金币+2,VIP+0):没卢瑟福背散射，EPMA可以不 7-27 09:18

rbs xps eds都行，我们一般用卢瑟福背散射

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2楼2009-07-25 10:34:22

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mse507

木虫 (正式写手)

应助: 13 (小学生)
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散金: 5
红花: 2
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虫号: 578843
注册: 2008-07-04
专业: 无机非金属类光电信息与功

★ ★
ufoer(金币+1,VIP+0):3x 7-25 11:33
郭浩(金币+1,VIP+0):MOCVD。因为没有质量流量计，掺杂源是固体，只是通过温度调节饱和蒸汽压，很麻烦。我还是新手，可能没说明白，请见谅。 7-27 09:20

引用回帖:

Originally posted by 郭浩 at 2009-7-25 10:27:
在生长薄膜时进行掺杂，但是不能控制掺杂量，想最后通过测量看看自己到底掺杂了多少。
请问各位，通过什么手段可以测量呢？我理解能力有限，麻烦说的具体点。
多谢各位

为什么不能控制掺量？你们采用什么方法制备薄膜？

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4楼2009-07-25 11:14:01

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jiazc

木虫 (正式写手)

应助: 0 (幼儿园)
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注册: 2009-06-10
专业: 无机非金属基复合材料

★ ★
闪闪红心(金币+1,VIP+0):谢谢 7-25 12:46
郭浩(金币+1,VIP+0):谢谢 7-27 09:20

通常用XPS就能搞定，如果元素原子序数太小可考虑用SIMS

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5楼2009-07-25 11:54:10

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