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loskingyer新虫 (小有名气)
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[求助]
如何制作sio2/si基底窗口片？
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想要在10x10mm的sio2/si衬底上用hf酸刻蚀一个5x5mm窗口，漏出下面的Si。 目前我是用光刻的方法做一个窗口之后进行刻蚀，但是光刻胶保护能力不行，有覆盖的部分也会被刻蚀掉。光刻胶是PR1-1000A1 请问有没有什么好方法？ 发自小木虫IOS客户端 |
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2楼2020-12-31 16:59:40