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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 跨学科应用 » 如何制作sio2/si基底窗口片？
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loskingyer

新虫 (小有名气)

[求助] 如何制作sio2/si基底窗口片？

想要在10x10mm的sio2/si衬底上用hf酸刻蚀一个5x5mm窗口，漏出下面的Si。
目前我是用光刻的方法做一个窗口之后进行刻蚀，但是光刻胶保护能力不行，有覆盖的部分也会被刻蚀掉。光刻胶是PR1-1000A1
请问有没有什么好方法？

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1楼 2020-11-24 10:04:04
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d1121345006

新虫 (正式写手)
楼主我现在也是这种情况，你现在解决了么，当然用干法刻蚀肯定没什么问题，但是用HF酸这种湿法刻蚀还是会把光刻胶去掉，有什么好的方法分享一下，谢谢了。
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2楼2020-12-31 16:59:40
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