| 查看: 670 | 回复: 1 | ||
| 【悬赏金币】回答本帖问题，作者loskingyer将赠送您 10 个金币 | ||
loskingyer新虫 (小有名气)
|
[求助]
如何制作sio2/si基底窗口片？
|
|
|
想要在10x10mm的sio2/si衬底上用hf酸刻蚀一个5x5mm窗口，漏出下面的Si。 目前我是用光刻的方法做一个窗口之后进行刻蚀，但是光刻胶保护能力不行，有覆盖的部分也会被刻蚀掉。光刻胶是PR1-1000A1 请问有没有什么好方法？ 发自小木虫IOS客户端 |
回复此楼» 猜你喜欢
材料模拟计算
已经有0人回复
-
电缆铠装 缆芯扭转问题
已经有2人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有74人回复
-
第一性原理模拟计算
已经有6人回复
-
材料计算
已经有0人回复
-
分子动力学模拟
已经有0人回复
-
材料模拟计算
已经有0人回复
d1121345006
新虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 3973
- 散金: 266
- 红花: 4
- 帖子: 827
- 在线: 68.5小时
- 虫号: 4826458
- 注册: 2016-07-08
- 专业: 光学
2楼2020-12-31 16:59:40