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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术交流 » PECVD生长Al2O3
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841818924

木虫 (小有名气)

[求助] PECVD生长Al2O3

请问半导体行业里面为什么用PECVD生长Al2O3的很少，一般都用ALD生长，长出来的质量不好还是什么原因
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1楼 2020-10-28 10:59:11
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krny4060

新虫 (小有名气)
al2o3是绝缘和隧穿材料，因此对质量和界面要求很高。ALD生长质量好

发自小木虫IOS客户端
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2楼2021-03-12 05:00:43
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