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841818924木虫 (小有名气)
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PECVD生长Al2O3
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| 请问半导体行业里面为什么用PECVD生长Al2O3的很少，一般都用ALD生长，长出来的质量不好还是什么原因 |
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krny4060
新虫 (小有名气)
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- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
2楼2021-03-12 05:00:43
