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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 激光或飞秒激光打凹孔阵列的问题，谢谢
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【悬赏金币】回答本帖问题，作者柳昭和将赠送您 5 个金币

柳昭和

铁虫 (小有名气)

[求助] 激光或飞秒激光打凹孔阵列的问题，谢谢 已有2人参与

大家好，有个问题请教：我在硅片基底上镀了一层几百纳米厚的塑料薄膜。在这个表面上我想打凹孔（半球形的凹孔）阵列，孔径50微米左右，如果能加工的再小一点更好，比50微米大一点也没关系。5 x 5的阵列或者10 x 10的阵列都可以，孔间距65微米左右。请问用哪种工艺比较好？如果用激光打孔，是不是孔周围的物质就全变质（烧蚀被烧糊了）了？
    谢谢各位的解答，不当之处还请谅解我这个新人。
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1楼 2020-10-26 08:55:19
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

你这个凹坑深度要做到多深啊？
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2楼2020-11-02 20:56:35
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小珛

金虫 (小有名气)

孤独患者

【答案】应助回帖

可以用飞秒切割，热影响很小
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勇者不惧内！
3楼2020-11-06 15:23:29
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