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那里可以做以甲烷气为气源的CVD镀碳膜?
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本人做核物理实验的,需要将12C同位素富集的甲烷镀到金属衬底(直径50mm左右厚度1mm的铜片)上,厚度为1um以上。请问各路大神谁能给个办法? 我不是做材料的不太了解,不过现在好像cvd镀膜技术比较成熟?大家知道哪里可以镀吗? |
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