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那里可以做以甲烷气为气源的CVD镀碳膜？
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本人做核物理实验的，需要将12C同位素富集的甲烷镀到金属衬底（直径50mm左右厚度1mm的铜片）上，厚度为1um以上。请问各路大神谁能给个办法？ 我不是做材料的不太了解，不过现在好像cvd镀膜技术比较成熟？大家知道哪里可以镀吗？ |
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